Plasmasysteme

Nordson March ist ein führender Hersteller von hochklassigen Plasmasystemen und ist einer der Pioniere dieser relativ neuen Technologie in der Mikroelektronik. Wichtige Einsatzgebiete sind die Behandlung von Leiterplatten, Substraten, Systemträgern, Wafern und vielen weiteren Produkten deren Oberflächen aktiviert und/oder von organischen Stoffen gereinigt werden soll.

Im Bereich Mikroelektronik werden nachweisbar die Haftqualität von Chips und Drahtbonds verbessert, für kritische Automobilelektronikteile ist Plasma heute standard. Das Underfill bei Flip Chip-Anwendungen ist schneller und führt zu besserer Benetzung. In vielen Fällen wird die Ausbeute signifikant erhöht, wobei aber die Zusammensetzung der Prozessgase, die Leistung und die Prozessdauer auf jede Anwendung genau abgestimmt und optimiert werden müssen.

 

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AP-600 Tischmodell für kleine Losgrössen, direktes oder down stream Plasma, 300W oder 500Wbei 13,56 MHz.
AP-1000 Modell für mittlere Losgrössen, direktes oder down stream Plasma, grosse Kammer von 457x457x610mm, für bis zu 12 Magazine.
AP-1500 Plasma System mit großer Kammer für Chargen-Plasmaverarbeitung.
Flextrak Pre-Bond Als Batchsystem für mittlere Losgrössen oder - mit Handler - für in-line Anwendungen und hohen Durchsatz.
Flextrak Wafersystem für Descum-Prozess bei Flip Chip-Anwendungen auf Wafer.
 

Neuer 4" Feeder

Der neue 4" Stack Feeder WPS4 wird auf der SMt vorgestellt. Klicken Sie hier für mehr Informationen.


Messen


Productronica München

14.-17. November 2017


APEX IPC Expo San Diego, CA

27 März -1 April 2018


Wir sind umgezogen!

Seit dem 11. März 2015 finden Sie uns in der Rothusstrasse 5a, CH-6331 Hünenberg